팸텍이 반도체 웨이퍼 샘플 전처리 시스템의 미국 특허 등록 소식에 상한가로 치솟았다.
8일 오전 9시19분 현재 팸텍은 전장 대비 483원(29.87%) 오른 2100원에 거래되고 있다.
이날 팸텍은 자동화된 반도체 웨이퍼 샘플 전처리 시스템에 대한 미국 특허 등록을 완료했다고 밝혔다.
이번 특허 기술은 웨이퍼 다이싱부터 폴리싱까지의 시편 제작 과정을 자동화한 시스템이다. 특히 결함 좌표 기반 자동 시편 제작 기능을 통해 작업 편차를 줄이고 공정 효율과 분석 품질을 높일 수 있다. 이를 통해 기존 수작업 방식에서 발생하던 품질 일관성과 처리 속도 문제를 효과적으로 개선한 것이 특징이다. 해당 기술은 이미 국내에서 동일 명칭으로 특허가 등록된 바 있다.
송화정 기자 pancake@asiae.co.kr
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